这款高精密环控柜是我司单独研发的精密环境控制设备,可达成ISOClass1-6级洁净度,以及±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等多级温度波动控制精度。依托全场景非标定制能力,能满足用户在温湿度稳定性、洁净度、抗微振、防磁、隔音等多方面的个性化需求。设备具备运行数据实时记录与查询功能,并配备自动安全防护系统,确保长期稳定运行。其构成包括主柜体、控制系统、气流循环系统、洁净过滤器、制冷(热)系统、照明系统及局部气浴等,专为光刻机、激光干涉仪等精密测量与制造设备,提供超高精度的温湿度及洁净度工作环境。该系统采用“外环境保障相对湿度、大环境稳定绝dui含湿量”的逻辑,通过精zhun控温实现仓内湿度达标。为满足严苛要求,采用大风量小温差设计,快速循环过滤空气并带走余热,使关键区域温度波动低至±0.002℃;同时通过多级控温(表冷盘降温+多级电加热升温),将精度从±0.1℃逐步提升至±0.002℃。极测(南京)致力于为芯片半导体、精密光学、科研研发等领域提供定制化的高精密环境解决方案。浙江计量精密温控
精zhun定位客户之需为先导,高效执行确保质量至上为关键,极测(南京)致力于为客户提供定制化的服务方案。我们灵活应变,以创新为驱动引擎,不断突破技术边界;同时,持续跟踪项目进展,确保服务无忧,赢得客户长久信赖。秉承诚信为本的经营理念,我们与客户携手并进,共铸行业辉煌,成为一家深度赋能行业、广受赞誉的高精密环境服务商。我们深知,专业的售后服务是保障客户设备稳定运行、提升客户满意度的重要一环。因此,我们特别组建了一支单独且专业的售后服务团队,以全mian、高效、专业的服务,确保您的设备始终处于优良状态。浙江计量精密温控系统由设备主柜体、洁净过滤系统、局部气浴、控制系统、气流循环系统、制冷(热)系统等组成。
极测的精密温控箱罩专为满足三坐标测量仪等精密设备的严苛环境需求而设计。其具备的 ±0.002℃高精密温度控制能力,犹如为三坐标测量仪构建了一个恒温 “堡垒”。精密温控箱罩运用自主研发的高精密控温技术,确保精密温控箱罩内部温度稳定性关键区域可达 +/-2mK(静态),温度水平均匀性小于 16mK/m。保证测量仪在长时间运行过程中始终保持稳定的测量精度,实现0.1% 的控制输出精度。除了温度控制,精密温控箱罩在湿度和洁净度方面同样表现。精密温控箱罩内部湿度稳定性可达 ±0.5%@8h,避免了因湿度问题导致的测量仪零部件生锈、电子元件短路等故障,延长了设备使用寿命。同时,该系统可实现百级以上洁净度控制,内部洁净度蕞高可优于 ISO class3(设备工作区),有效防止灰尘等微小颗粒附着在测量仪的光学部件或被测工件表面,避免对测量精度造成干扰。
极测在温度控制方面蕞高可实现令人惊叹的 ±0.002℃温度控制精度。这一精度意味着,在整个晶圆操作过程中,环境温度几乎保持绝dui稳定,温度水平均匀性小于 16mK/m,几乎消除了因温度变化对晶圆产生的热应力和尺寸误差。在洁净度方面,精密恒温洁净棚通过空气过滤系统和气流组织设计,实现了蕞高优于 ISO class1 的洁净度等级,远超普通洁净室的标准。 除了高精度的温度和洁净度控制,极测精密恒温洁净棚还具备全场景非标定制能力。根据不同客户的需求和晶圆操作工艺的特点,可以灵活调整温湿度稳定性、洁净度,以及抗微振、防磁、隔音等个性化参数。无论是高duan芯片制造企业,还是科研机构的晶圆研发项目,都能在这里找到蕞适合的环境解决方案。精密恒温洁净棚现已服务多家芯片半导体前列企业与国家重点实验室。极测(南京)拥有自己的工厂,能够有效地将研发成果转化为实际产品。
极测微环境控制系统运用自主研发的高精密控温技术,控制输出精度达 0.1%,设备内部温度稳定性关键区域可达 +/-2mK(静态),温度水平均匀性小于 16mK/m。这一精度确保了在立式干涉仪运行时,光学元件与机械结构不受温度波动干扰,始终维持在蕞佳工作状态,微环境控制系统为精zhun测量提供稳定基础。 极测精密环控柜采用自主研发的高精度制冷/加热控制系统,能够实现高温度精度和稳定性(±2mK)。上海精密温控设计
极测(南京)高精密水冷冷冻水机组采用自主研发高精度温度采集模块,准确测量实验舱内实时的温湿度。浙江计量精密温控
晶圆制造是一项对环境极为敏感的工艺。无论是光刻、刻蚀,还是封装环节,温度的细微波动和空气中的微小颗粒都可能带来灾难性后果,影响芯片的功能或造成短路或断路,导致整片晶圆报废。南京拓展科技旗下企业,极测(南京)技术有限公司推出的超精密恒温洁净棚,凭借突破性的环境控制技术,为晶圆构建起无可比拟的操作空间,可实现±0.002℃,±0.005℃,±0.05℃,±0.01℃,±0.1℃等不同等级精度的温度控制,及ISO class1-ISO class6不同等级的洁净度,相比晶圆操作台通过被动抵御环境温度变化,极测精密恒温洁净棚通过其在温度控制和洁净度管理上的双重突破,主动调控外部温度,形成超精密恒温洁净间的 “黄金环境”,成为推动半导体产业向更高精度迈进的关键力量。浙江计量精密温控
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